高真空镀膜机的结构与基本技术要求绝对干货排屑机

2018-06-25 07:08:25来源：贤集网 赵媛

科学技术飞跃的今天，光电技术的发展与应用已经深入到各行各业，但是其制备的必须设备——高真空镀膜机，由最初的复杂化、手动化和只能被应用到军事科研领域，发展到现在的简单化，集成化，智能化，并且被广泛推行及民用，价格也由之前的几千万一台降到现在的几百万就可以买到。光电技术的发展必然以真空技术为基础。高真空镀膜机不受镀膜元件的资料及现状的影响。镀膜的厚度能够操控，通常为十几分或百分之几微米，因而，高真空镀膜机被广泛运用于电子设备，地理仪器，外表等各职业，是目前制作真空条件应用最为广泛的设备。下面贤集网小编来详细为大家介绍高真空镀膜机的结构、基本技术要求、用处、特点、适用范围、操作程序、检漏注意事项。一起来看看吧！

高真空镀膜机的结构

一、真空主体——真空腔

根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用最多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。

二、辅助抽气系统

此排气系统采用“扩散泵+机械泵＋罗茨泵＋低温冷阱＋polycold”组成?排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵（主要介绍罗茨泵）、油扩散泵三大部分组成。

1、机械泵：

也叫前级泵，机械泵是应用最广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。

2、增压泵

增压泵又叫罗茨泵，它是具有一对同步高速旋转的双叶形或多叶形转子的机械泵，由于它的工作原理与罗茨鼓风机相同，所以又可以叫罗茨真空泵，此泵在100-1帕压强范围内有较大的抽气速度，它弥补了机械泵在此范围内排气能力不足的缺点，此泵不能从大气开始工作，也不能直接排出大气，它的作用仅仅是增加进气口和排气口之间的压差，其余的则需要机械泵来完成，因此，它必须配以机械泵作为前级泵。

3、油扩散泵：

机械泵的极限真空只有10-2帕，当达到10-1帕的时候，实际抽速只有理论的1/10，如果要获得高真空的话，必须采用油扩散泵。

高真空镀膜机的基本技术要求

1、设备中的真空管道、静态密封零部件（法兰、密封圈等）的结构形式，应符合GB/T6070的规定。

2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管，分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时，应在测量口处安装电场屏蔽装置。

3、如果设备使用的主泵为扩散泵时，应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱。

4、设备的镀膜室应设有观察窗，应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的工作情况以及其他关键部位。

5、离子镀沉积源的设计应尽可能提高镀膜过程中的离化率，提高镀膜材料的利用率，合理匹配沉积源的功率，合理布置沉积源在真空室体的位置。

6、合理布置加热装置，一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。

7、工件架应与真空室体绝缘，工件架的设计应使工件膜层均匀。

8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源，离子轰击电源应具有抑制非正常放电装置，维持工作稳定。

9、真空室接不同电位的各部分绝缘电阻值的大小：

①环境温度：10-30oC

②相对湿度：不大于75%

③冷却水进水温度：不高于25oC

④冷却水质：城市自来水或相当质量的水

⑤供电电源：380V三相50Hz或220V单相50Hz(由所用电器需要而定)；电压波动范围：342-399V或198-231V；频率波动范围：49-51Hz。

⑥设备所需的压缩空气，液氮，冷水、热水等。

高真空镀膜机的用处

蒸腾镀膜通常是加热靶材使外表组分以原子团或离子方式被蒸腾出来。并且沉降在基片外表，通过成膜进程(散点-岛状构造-迷走构造-层状生长)形 成薄膜。 关于溅射类镀膜，能够简单理解为使用电子或高能激光炮击靶材，并使外表组分以原子团或离子方式被溅射出来，并且终究堆积在基片外表，阅历成膜进程，终究形成薄膜。

高真空镀膜机的特点

1、真空镀膜机采用箱式结构，真空系统后置，便于操作和和维修；整机表面平整，便于清洁，特别适合放在净化间内作穿墙式安装。

2、真空镀膜机真空系统抽速大，具有抽气时间短，真空度高，生产周期短等优点。?3、工件转动采用上部中心驱动，轴承带水冷，磁流体密封，转动平稳可靠。

4、真空镀膜机先进的镀膜控制系统，人机操作界面美观实用，系统稳定可靠，可实现系统的手动、半自动和全自动操作。

高真空镀膜机的适用范围

1、修建五金：卫浴五金(如水龙头).门锁.门拉手.卫浴、五金合叶、家私等。

2、制表业：可用于表壳.表带的镀膜、水晶制品。

3、其它小五金：皮革五金.不锈钢餐具.眼镜框、刀具、模具等.

4、大型工件：轿车轮毂、不锈钢板.招牌.雕塑等。

5、不锈钢管和板(各品种型外表)

6、家私、灯具、宾馆用具。

7、锁具、拉手、卫浴五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、器血等五金制品镀超硬装修膜。

8、手表、表带、眼镜、首饰等装修品镀超耐磨装修(金银)纳米膜和纳米膜和纳米叠层膜。

高真空镀膜机的操作程序

真空镀膜机操作程序具体操作时请参照该设备说明书和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。

1、检查真空镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。

2、打开总电源开关，设备送电。

3、低压阀拉出。开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。

4、安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。

5、落下钟罩。

6、启动抽真空机械泵。

7、开复合真空计电源(复合真空计型号:Fzh-1A)。

a、左旋钮"1"顺时针旋转至指向2区段的加热位置。

b、低真空表"2"内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。

8、当低真空表"2"内指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀推入。这时左旋钮"1"旋转至指向1区段测量位置。

9、真空镀膜机开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。

10、低压阀拉出。重复一次⑦动作程序:左下旋钮"1"转至指向2区段测量位置。低真空表"2"内指针顺时针移动，当指针移动至6.7Pa时，开高压阀(阀杆顺时针旋转)。

11、等低真空表"2"内指针右移动至0.1Pa时，开规管灯丝开关。

a、发射、零点测量钮"9"旋转至指向发射位置。

b、左下旋钮"1"旋转至指向1区段测量位置。

12、旋转发射调节钮"4"，使高压真空表"5"内指针指向5。

13、发射、零点、测量旋钮"9"旋转至指向零点位置。

14、旋转零点调节钮"10"，让高压真空表"5"内指针指向0位置。

15、发射、零点、测量旋钮"9"旋转至指向测量位置。

16、旋转标准调节钮"3"，让高压真空表"5"内指针指向10。

17、旋转"倍加器"开关钮"8"至指向10-12，当高压真空表"5"内指针逆时针左移超过1时，再把"倍加器"开关旋钮"8"旋转至指向10-3。

18、当高压真空表"5"内指针逆时针移动超过6.7Pa时，开工件旋转钮开关，钟罩内被镀件PVDF膜转动。

19、开蒸发钮开关。把电流分插塞插入蒸发电极分配孔内(设有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔)。

20、右手旋转右侧调压器手轮，慢慢旋转升压。

a、从视镜窗口观察钨螺旋加热子的加热温度颜色变化情况。

b、当钨螺旋加热子颜色变成黄橙色，铝丝开始熔化时，左手操作挡板钮，移开钨螺旋上方挡板。

c、铝丝全部熔化蒸发，挡板回原位。

d、右手旋转调压器手轮回零位。第一次蒸镀工作完成。

21、如果再想蒸镀一次(为了增加电极金属层厚度):把电流分插塞拨出插入另一个电极分配孔。重复?操作动作。

22、关闭规管灯丝开关。关闭高压阀(逆时针转手柄)。关闭工件旋转。关闭蒸发。旋转机械泵钮至指向扩散泵位置。

23、低压阀拉出。钟罩充气。充气一段时间，当没有气.声时，升钟罩。

24、钨螺旋加热子内加铝丝。PVDF薄膜调换另一面向下 (原下面已镀一层铝膜面向上)。紧固在转动圆盘上。

25、落钟罩。开机械泵。

a、左下旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。

b、当低压真空表"2"内指针顺时针移动到6.7Pa时，低压阀推入。

c、左下旋钮"1"旋转至指向1区段测量位置。

d、当低压真空表"2"内指针顺时针移动到6.7Pa时，开高压阀。旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。

e、当低压真空表"2"内指针顺时针移动到指向0.1Pa时，开规管灯丝。

f、由?开始重复操作至? 。

26、PVDF薄膜蒸镀完铝层后，按顺序关闭规管灯丝、高压阀、机械泵、扩散泵。把低压阀拉出。钟罩充气，充气完毕后升钟罩。取出工件，做好钟罩内清理工作。

a、落下钟罩。

b、开机械泵，抽3~5min，停机械泵。

c、切断供电总开关。

d、1h后再关闭冷却水。操作全部完成。

27、正常生产中，如遇到突然停电时，要立即切断高真空测量，关闭规管灯丝，高压阀、低压阀拉出。来电后，先让机械泵启动工作3~5min后，再转入正常生产。

高真空镀膜机的检漏注意事项

1、要查看漏气究竟的虚漏仍是实漏，因为工件资料加热后都会在不同程度上发生气体，有也许误以为是从外部流进的气体，这即是虚漏，要扫除这种状况。

2、测验好真空室的气体密封功能，确保气密功能符合要求。

3、查看漏孔的巨细，形状、方位，漏气的速度，制备出可处理方案并施行。

4、断定检查仪器的最小可检漏率和检漏灵敏性，以最大规模的检查出漏气状况，防止一些漏孔被疏忽，进步检漏的准确性。

5、掌握检漏仪器的反应时刻和消除时刻，把时刻掌握好，确保检漏仪器作业到位，时刻少了，检漏作用必定差，时刻长了，糟蹋检漏气体和人工电费。

6、还要防止漏孔阻塞，有时因为操作失误，检漏过程中，一些尘埃或液体等把漏孔阻塞了，以为在该方位没有漏孔，但当这些阻塞物因为内外压强区别进步或别的缘由使漏孔不堵了，那漏气仍是存在的。

上述是贤集网小编为大家介绍的高真空镀膜机的结构、基本技术要求、用处、特点、适用范围、操作程序、检漏注意事项。在这里，小编还要体型大家：高真空镀膜机每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。用烧碱（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（ 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气，再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢；还有当高真空镀膜机粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。只有这样悉心的维护高真空镀膜机，才能够延长其使用寿命。

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